于微电子生产用无尘室之天花板骨架安装风机过滤机组风机过滤机组(英文: Fan Filter Unit,简称: FFU),是一种结合送风机与高效滤网(HEPA/ULPA)气流循环与过滤之无尘室洁净设备,主要是用来过滤来自作业场所空气中所存在有害空气中的粉尘颗粒,提供洁净之空气。FFU的无尘室大致......
超低穿透空气过滤网(英语:Ultra Low Penetration Air Filter,缩写:ULPA),主要是用来去除0.1µm以上之微粒,过滤效果约为DOP 99.995%以上,过滤网材质为特殊玻璃纸。测试这些过滤网的建议准则包括IEST-RP-CC001: HEPA and ULPA Fi......